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課程名稱 |
積體電路工程
INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY |
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開課學期 |
93-2 |
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授課對象 |
電機資訊學院 電機工程學研究所 |
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授課教師 |
王維新 |
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課號 |
EE5114 |
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課程識別碼 |
921 U7120 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期三2,3,4(9:10~12:10) |
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上課地點 |
電二229 |
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備註 |
總人數上限：35人 |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
一、內容：
0. Introduction
1. Crystal Growth and Epitaxy
2. Diffusion
3. Ion Implantation
4. Native Oxide Films
5. Deposited Films
6. Etching and Cleaning
7. Lithography
8. In-process Measurements
9. Silicon Integrated Circuits
二、教科書：投影片講義 (採用投影片上課)
三、成績評量方式：期中、期末各佔 40%，作業佔 20%
四、預修課程：普通物理、工程數學、電子學
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課程目標 |
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課程要求 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
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評量方式
(僅供參考) |
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